一种基于锆钛酸铅和硫系玻璃异质集成的声光调制器

本发明公开了一种基于PZT与硫系玻璃异质集成的声光调制器，属于集成光电子技术领域。该调制器自下而上依次包括硅衬底、二氧化硅下包层以及锆钛酸铅(PZT)压电薄膜层；在PZT层上异质集成有硫系玻璃光波导，该光波导被图案化为马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)结构。本发明在MZI的两臂之间设置有材质为铝(Al)的叉指换能器(IDT)，并在两臂的外侧分别蚀刻有深至下包层或衬底的空气槽。通过异质集成结合了PZT的高压电系数与硫系玻璃的高光弹性优势。利用铝作为IDT电极材料，有效降低了电极对声表面波的质量加载效应；通过两臂外侧的空气槽构建声学谐振腔，将声波能量限制在光波导区域，显著增强了声光相互作用。该结构实现了低驱动电压、低损耗且高效率的光信号调制，适用于中红外及通信波段的集成光路系统。