一种光刻机台报错自动识别处理方法及系统

本发明提供一种光刻机台报错自动识别处理方法及系统，方法包括：对光刻机台晶圆依次位置粗对准、倾斜量检测、位置细对准、曝光；位置粗对准或细对准不成功更换对准图像采集区域、对准模式和对准标记，倾斜量检测报错更换曝光焦平面位置、对焦模式和对焦位置；曝光异常且细对准完整采集区域则更换对焦模式和对焦位置，细对准非完整采集区域则用前次曝光数值；若光刻机台动作异常，停止动作并报警。本发明对光刻机台晶圆的粗对准、倾斜量检测、细对准及曝光异常自动调整检测参数，降低机台非必要报错宕机频率，避免机台停机对跑货量及晶圆质量的影响；同时监测晶圆停留时间、批数及错误信号及时发现机台异常，降低机台某模块异常后造成的损失。