一种抗串扰多轴纳米级位移台及其控制方法与应用

本发明属于精密仪器技术领域，具体涉及一种抗串扰多轴纳米级位移台及其控制方法与应用。所述位移台包括载物台、底座、底盖板及对称分布于底座四角的四组压电陶瓷促动器；每组促动器集成四连杆五铰链壳体与压电陶瓷驱动单元，并通过限位柔性铰链与载物台连接。通过协同控制四组促动器的输出位移，使限位柔性铰链产生差异化形变，驱动载物台实现Z向平移与绕X/Y轴的偏摆复合运动。三组电容位移传感器实时监测位姿变化，结合闭环控制算法实现纳米级定位。该设计显著降低多轴运动串扰，适用于光学系统精密准直与调焦，具有定位精度高、动态响应快的优势。