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Dossier
统计过程控制方法、装置、设备及存储介质
InventionActive
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10Claims · 4 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
芯联集成电路制造股份有限公司
Inventor
周暐; 李悦; 孙海丽; 项林; 高菲燕
IPC Classification
G06F 16/26 (2019.01)G06T 11/26 (2026.01)
本申请提供一种统计过程控制方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:获取目标产品相关的多个产品子组关于目标质量参数的测量数据;在各产品子组中的产品样本量大于标准控制图参数表中的最大样本量时,以产品样本量作为输入,通过预置的拟合函数输出对应的控制图参数值,拟合函数通过对标准控制图参数表中的多个样本量及各样本量对应的参数值进行非线性回归拟合得到;基于控制图参数值以及多个产品子组关于目标质量参数的测量数据,获取目标质量参数对应的控制限并绘制控制图;根据控制图,监控目标质量参数对应的工艺过程是否处于统计受控状态。本申请解决了大样本量场景下控制图参数值缺失的问题,填补了生产过程中关键工艺的质量监控盲区。
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