基于混合专家系统的RH真空排气系统故障定位方法及系统

本发明提供了一种基于混合专家系统的RH真空排气系统故障定位方法及系统，包括：获取RH真空排气系统生产过程数据，并对所述数据进行预处理；根据预处理后的RH真空排气系统生产过程数据，通过构建的基于动态时间规整的时序K均值，记为DTKmeans算法训练得到故障阈值，计算故障标志位；根据所述故障标志位，混合专家系统总结各类故障种类和判断规则库，推算故障位置。本发明利用人工智能算法实现RH工序真空排气系统尽可能快速地提供故障点定位，提高寻找故障点效率。