一种高温反偏试验系统的多级安全防护方法

本发明公开了一种高温反偏试验系统的多级安全防护方法，涉及半导体器件可靠性测试技术领域，用于高温反偏试验系统的半导体器件可靠性测试，在保障试验安全的同时提升设备利用率与试验成功率，本发明通过构建动态安全域模型并实施分级协同响应，实现了对试验过程的主动式、预测性安全防护。该方法能够综合分析温度、电压、电流等多个参数的协同变化趋势，有效识别传统单一阈值报警无法发现的早期、潜在故障征兆，将安全防护关口前移，从而在故障发生前进行干预，本发明提出的安全防护策略具备高度的精准性和最小化干预特性。通过对风险进行分级，并匹配不同强度的响应措施。