离子源束流分布的修正挡板设计方法及其修正挡板

本申请提供一种离子源束流分布的修正挡板设计方法及其修正挡板，该方法包括：获取目标离子源对应的实测束流分布；其中，实测束流分布通过目标离子源对目标样品进行轰击后测量获得；获取目标离子源对应的目标束流分布；根据实测束流分布以及目标束流分布，确定离子源对应的修正挡板曲线；根据修正挡板曲线，计算组成修正挡板的每个挡板条的挡板宽度以及挡板长度；根据每个挡板条的挡板宽度、挡板长度以及修正挡板曲线，获得目标离子源对应的修正挡板。