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Dossier

一种硅片流转方法、系统

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§ Ⅰ

Dossier Overview

Inventor

苟佳琳; 齐红建; 王婷婷; 钟曙松; 武瑞; 张海鹏; 武治军; 杨凤欣

IPC Classification

G06Q 10/10 (2023.01)G06Q 50/04 (2012.01)G06F 18/241 (2023.01)G06F 18/2433 (2023.01)

一种硅片流转方法、系统,步骤包括:将当前硅片从第一载具卸出;获取所述当前硅片卸出后的所述第一载具的状态,所述状态至少包括第一状态,判断所述第一状态是否满足第一预设条件;基于所述第一状态满足所述第一预设条件,对所述第一载具执行任务初始化操作。本申请可实现包装全流程的智能化协同处理,可实时监控载具状态,并能精准且快速地执行任务,确保各环节实时高效衔接;保证硅片包装安全、顺畅且快速地流转移运,提升转运效率,节约周转时间。

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