半导体量测设备的图像校准方法、设备、介质及产品

本发明提供了一种半导体量测设备的图像校准方法、设备、介质及产品。半导体量测设备的图像校准方法包括：获取半导体量测设备以基准扫描速率对晶圆样本进行扫描得到的基准图像，基准扫描速率为半导体量测设备的多个预设扫描速率中的一个；获取半导体量测设备以校准扫描速率对晶圆样本进行扫描得到的校准图像，校准扫描速率为多个预设拍摄速率中不同于基准扫描速率的另一个；确定校准图像与基准图像之间的偏移量；根据偏移量计算得到并记录基准扫描速率切换至校准扫描速率后的所需补偿值。可以利用所需补偿值减轻半导体量测设备因扫描速率切换造成的图像漂移现象对最终图像准确性的不利影响，有助于提高晶圆产品的检测效率和准确性。