基于YOLO目标检测的Wafer测试lonely die检测与剔除方法

本发明涉及半导体测试技术领域，具体公开了基于YOLO目标检测的Wafer测试lonely die检测与剔除方法，包括：获取并预处理wafermap图像；对预处理完成的Wafermap图像进行信息标注；将准备好的wafermap数据集按照预设比例进行随机分配；基于指定的lonely die类型定义孤立芯片的检测规则，结合YOLO输出的检测结果进行孤立芯片的自动识别，对符合孤立芯片条件的芯片进行标注和剔除，生成包含孤立芯片坐标和数量的报告，并在wafermap图像上进行可视化。本发明相较于人工筛选的方式显著提高了检测效率。