一种离子注入机中镁离子束的产生方法和装置

本发明公开的一种离子注入机中镁离子束的产生方法和装置，涉及半导体制造技术领域，产生方法包括以下步骤：将含碘化镁的固态源加热形成含有碘化镁的蒸汽；将所述含有碘化镁的蒸汽输送至离子源弧室中；将进入离子源弧室中的蒸汽进行电离，形成含Mg的等离子体；将等离子体中的Mg引出，形成毫安级的镁离子束；所述含碘化镁的固态源全部由碘化镁组成或为碘化镁与镁单质的混合物。本发明提供的方法，可产生毫安量级镁束流，可满足注入使用；通过碘化镁及镁单质混合作为固态源使用，可提高镁离子束流，增强离子源使用时间，减少维护次数。