一种可用于出光能量监测的宏通道激光器及其制备方法

本发明涉及半导体激光技术领域，公开了一种可用于出光能量监测的宏通道激光器及其制备方法。该激光器包括激光器芯片、WCu电极、A l N基板和水冷热沉。其特征在于，还包括一套出光能量监测系统：设置在芯片出光端附近的导光棒收集散射光，其末端的探测器模块将光信号转化为与出光能量呈线性关系的电信号。导光棒可由两组垂直对接的导光棒构成以扭转光路。其制备方法中，将芯片封装至WCu电极的步骤与将半成品封装至热沉的步骤采用相同的回流焊工艺参数。本发明解决了高功率激光器缺乏集成式实时能量监测方案的技术问题，实现了不影响主光路的原位监测，并提升了器件散热性能与工作稳定性。