一种集成电容微位移传感器的压电执行器

本发明提供一种集成电容微位移传感器的压电执行器，包括两级柔性串联式控制执行器机构、电容传感器、推杆组件、控制单元和外壳。两级柔性串联式控制执行器机构装于外壳内，其输出端连接推杆组件。电容传感器安装于推杆组件和外壳上，检测两者之间的相对位移。执行器机构包括一级、二级运动机构和柔性弹簧组件，一级运动机构与外壳连接，二级运动机构与推杆组件连接，一二级运动机构之间通过柔性弹簧组件柔性串联。控制单元通过电容传感器获取执行器的位移信息，通过控制算法产生控制信号，经过驱动放大后作用于执行器，推动推杆做期望的位移。本发明能解决现有技术中动态性能与行程相互制约、应力集中与可靠性问题以及传感器集成与闭环控制不足的问题。