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Dossier

声表面波滤波器压电薄膜旋涂与固化同步加工装置

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§ Ⅰ

Dossier Overview

Inventor

钱晨; 窦云轩; 徐家玉

IPC Classification

H03H 3/00 (2006.01)H03H 9/64 (2006.01)H10N 30/081 (2023.01)

本发明涉及表面波滤波器制造技术领域,具体为声表面波滤波器压电薄膜旋涂与固化同步加工装置,包括同步加工底座和同步加工架,所述同步加工底座的顶部固定设置有同步加工架,且同步加工架的一侧分别固定设置有送料架和出料架。本发明通过将固化模块与旋涂模块集成于同一加工工位,实现旋涂过程与固化过程的同步进行,同时依托自动送料架、出料架及多工位旋转结构,完成基底从送料、定心、加工到出料的全流程自动化操作,无需人工转移或辅助,大幅缩短单次加工周期,减少外界污染对薄膜的影响,显著提升声表面波滤波器压电薄膜的量产能力与加工稳定性,更适配规模化生产需求。

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