一种复合引出端结构的石英晶振晶片及其制备方法

本发明提供一种复合引出端结构的石英晶振晶片及其制备方法，属于压电晶体器件技术领域，复合引出端结构的石英晶振晶片包括：晶片本体，晶片本体包括主要谐振区；两组电极结构，两组电极结构沿晶片本体的厚度方向分别位于晶片本体的两侧，电极结构包括电极、电极引出端和梁结构，电极位于主要谐振区，一组电极结构中，梁结构用于电连接电极和电极引出端；晶片本体上对应至少一个电极引出端所在区域的表面设置有凸台阵列，凸台阵列包括多个柱状结构，柱状结构用于将石英晶振晶片中的杂散波反射至柱状结构的内部。通过凸台阵列形成复合引出端结构，解决了现有技术中石英晶振晶片的品质因数难以突破瓶颈的缺陷，提高了石英晶振晶片的品质因数。