高压二极管及其制备方法

本申请公开了一种高压二极管及其制备方法，所述高压二极管包括衬底、外延层、至少一个加强组件和钝化层，所述外延层上设有主结区和至少一个环绕所述主结区设置的分压环；所述加强组件包括浅沟槽、电荷吸附件和绝缘隔离件，所述浅沟槽与所述分压环相邻设置；所述电荷吸附件设置在所述浅沟槽内，用于吸附正电荷；所述绝缘隔离件设置在所述浅沟槽的侧壁和底部，用于隔绝所述电荷吸附件和所述外延层；所述钝化层设置在所述外延层远离所述衬底的一侧，覆盖所述分压环和所述加强组件，并与所述电荷吸附件贴合。通过上述设计，使得高压二极管中分压环的电压承受能力得以提升，降低高压二极管表面存在被击穿的风险。