一种低温快速热退火工艺的温度监控方法

本发明提供一种低温快速热退火工艺的温度监控方法，包括：提供衬底，在所述衬底上形成含有掺杂元素的铜层；对所述衬底进行低温快速热退火工艺同时在退火工艺中通入混合气体，使得铜层中的掺杂元素扩散至铜层表面与混合气体中的氧气反应形成掺杂氧化层；测量所述掺杂氧化层中掺杂元素的含量；基于掺杂元素的含量与温度的对应关系，确定所述低温快速热退火工艺的温度。本发明通过测量掺杂氧化层中掺杂元素的含量，并根据掺杂元素的含量与温度的对应关系得到低温快速热退火工艺的温度，从而对低温快速热退火工艺的温度进行监控，与现有技术相比，该方法对温度灵敏度高，且无金属污染的风险，能够对低温快速热退火工艺的温度进行有效监控。