一种晶圆夹持旋转装置

本发明公开了一种晶圆夹持旋转装置，包括夹持机构和驱动机构；夹持机构包括侧臂和夹爪；夹爪通过溃缩结构安装在侧臂上，溃缩结构包括设于侧臂内侧面上的安装槽，安装槽内设有与夹爪连接的连接块，连接块与安装槽之间具有间隔形成缓冲区域，夹爪内连接有支撑轴，连接块和侧臂上设有相通的第一穿孔和第二穿孔，第二穿孔分为粗段部和细段部，在粗段部内设有套在支撑轴上的压簧，连接块内连接有导向轴，侧臂上具有通孔，导向轴的自由端穿过通孔，侧臂的外侧面上设有接触传感器。这样，通过压簧与缓冲区域，可有效抵消夹爪传递的部分夹持冲击力，将夹爪与晶圆间的刚性接触力转化为柔性缓冲力，避免因夹持力过大直接挤压晶圆导致破裂。