一种半导体真空环境用托盘夹持翻转机构

本发明提出了一种半导体真空环境用托盘夹持翻转机构，涉及半导体技术领域。一种半导体真空环境用托盘夹持翻转机构，包括工作台、夹持机构和翻转机构。夹持机构包括两个对称设置于上述工作台上的夹臂和两个位于同一直线上的直线移动模组。两个上述夹臂一一对应设置于两个上述直线移动模组的移动端，任意上述夹臂上设置有用于夹持托盘的夹爪。翻转机构包括能同轴转动的两个转动件，两个上述转动件一一对应设置于两个上述夹臂上，两个上述夹爪一一对应设置于两个上述转动件的转动端上。本发明能够在加工过程中保证晶圆一直处于真空环境，且能够代替人工进行翻转，便于对晶圆两面进行工艺处理，以提高生产效率和产品质量。