形状测量装置以及形状测量装置的校正方法

本发明的形状测量装置是包括图像处理部的装置，所述图像处理部基于板状的测量对象的影图像来求出所述测量对象的轮廓形状，在测量的情况下，所述测量对象被配置在照明部与摄像部之间，利用所述摄像部拍摄通过从所述照明部照射出的照明光而形成的所述测量对象的影子，从而生成所述测量对象的影图像，在校正的情况下，在所述照明部与所述摄像部之间配置减光滤光部，基于所述摄像部经由减光滤光部（2）接收到的从所述照明部照射出的照明光的接收光量，校正从所述照明部照射的照明光的光量。