多柱式大视野成像平台

一种测量系统可包含经配置以产生一或多个照明光束的照明源及一或多个物镜。所述物镜中的一或多者可配置为照明物镜以将照明从所述照明源引导到样本上的一或多个目标。所述物镜中的一或多者可配置为集光物镜，其中所述集光物镜中的每一者经配置以收集来自所述样本的所述照明的选定衍射级。所述系统可进一步包含：一或多个检测器，其各自经配置以基于来自所述集光物镜中的至少一者的所述选定衍射级中的至少一者对所述样本成像；及控制器，其基于来自所述检测器的一或多个图像而产生所述样本上的所述一或多个目标的测量。