用于确定样品台上样品的取向的方法、装置和计算机程序

本发明涉及一种用于确定样品在可绕旋转轴线旋转的样品台上的取向的方法。该方法包括：a）将样品相对定位在第一位置；b）使样品相对于高度传感器旋转通过第一旋转角度；以及c）在旋转期间使用高度传感器重复测量样品的第一高度。在该过程中，为了测量第二高度的目的，还针对至少一个第二位置执行步骤a）至c）。