光学系统和光刻系统

本发明涉及一种光学系统（300），其具有多个可致动光学元件（310）和多个用于致动和/或感测光学元件（310）的致动器/传感器装置（200），该光学系统具有用于为光学系统（300）的多个电负载（500，L1‑L12）提供供电电压（VS）的供电装置（400），该供电装置包括多个N个供电轨（410‑440）与相应电源单元（450）的并联连接，其中N≥3，其中N个供电轨（410‑440）的相应电源单元（450）被设置为在供电装置（400）无故障运行时在供电节点（K1‑K4）的输出侧提供预定的电源单元输出功率（P1），并且在故障运行时在供电节点（K1‑K4）的输出侧提供预定的电源单元输出功率的倍数（P2）。