一种用于液晶面板的超高压微喷射流清洗系统

本发明公开一种用于液晶面板的超高压微喷射流清洗系统，包括装置本体，在所述装置本体上设置有二氧化碳气泡混合组件，所述二氧化碳气泡混合组件上连接有二氧化碳供气控制组件和去离子水输入组件，还包括有高压泵组件，所述高压泵组件和所述二氧化碳气泡混合组件之间连接有第一输送管，所述二氧化碳气泡混合组件内设置有旋转搅拌装置，所述二氧化碳供气控制组件和所述旋转搅拌装置之间设置有旋转导通结构，所述旋转搅拌装置上设置有能和所述旋转导通结构连通设置的分散式出气孔结构，实现玻璃基板表面1μm以上无机类异物颗粒的高效去除，同时保证清洁过程稳定、无二次污染，提升液晶面板生产良率与设备运行效率。