半导体含氟含磷废液分级反应结晶回收工艺及系统

本发明公开了一种半导体含氟含磷废液分级反应结晶回收工艺及系统，含氟含磷废液与石灰溶液在氟回收结晶反应器中在pH为3‑4的条件反应形成氟化钙晶体，氟化钙晶体脱水得氟化钙颗粒晶体产品，氟回收结晶反应器出水、氟化钙晶体脱水滤液、石灰溶液和氯化钙溶液在二级反应池内以pH为5‑6的条件反应，并经混凝、絮凝和沉淀去除氟化钙、氟磷灰石、二氧化硅和硅铝沉淀，二级反应池出水、石灰溶液和氯化钙溶液在磷回收结晶反应器内以pH为7‑8的条件反应生成羟基磷灰石晶体，羟基磷灰石晶体脱水得到羟基磷酸钙颗粒晶体产品，本发明实现了分段去除特定污染物，同时产出高纯度氟化钙晶体产品和羟基磷酸钙晶体产品，实现氟和磷资源化。