一种金刚线切割液及其制备方法

本发明属于硅片加工技术领域，公开了一种金刚线切割液及其制备方法。该金刚线切割液，按重量百分比计，包括以下组分：25%‑50%润滑剂，10%‑30%润湿剂，10%‑20%增溶剂，0.1%‑1.0%分散剂，5%‑50%水；润滑剂包含聚氧乙烯聚氧丙烯反式嵌段聚醚，润湿剂包括炔二醇和异构醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚，增溶剂包括聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段聚醚和炔二醇聚氧乙烯醚。本发明提供的金刚石线切割液具有优异的润滑、分散、润湿性能，其表面张力值低，能减少线锯的磨损，减少断线率，提高产品的切割良率。同时，该金刚石线切割液具有极低的泡沫以及极快的破泡速率，还能减少切割过程中泡沫的产生，解决溢缸的问题。