沉积设备

本公开公开了沉积设备，该沉积设备包括：台；以及喷嘴组件，设置在台上，并且包括在第一方向上延伸的电极部分和设置在电极部分之下的喷嘴部分。在电极部分中限定有通道，该通道包括：主通道，限定在电极部分的上表面上并且在向下的方向上延伸；第一通道，从主通道的下部分在第一方向上延伸；第一连接通道，从与第一通道的在第一方向上相对的相对侧相邻的第1‑1区域和第1‑2区域在向下的方向延伸；以及第二通道，从第一连接通道的下部分在第一方向上延伸，并且喷嘴部分设置在第二通道之下。