一种膜片、FP传感器及制备方法

本发明公开了一种膜片、FP传感器及制备方法，所述膜片包括膜片本体，膜片本体上镂空雕刻有嵌套分布的多个振动件，最内层的振动件为膜片本体中形成FP谐振腔的区域，相邻振动件之间、以及最外层振动件与最外层振动件外侧的膜片本体之间不断开，保留部分膜片本体作为连接件；其中，膜片本体和膜片本体上的结构形成第一振动单元；每个非最内层振动件以及自身包围的结构均形成第二振动单元；每个非最内层振动件以及自身包围的结构、自身向外连接的连接件均形成第三振动单元。本发明这种多级振动单元的设计使传感器能够覆盖从低频到高频的宽频带响应，便于捕捉多频段复合信号，适用于复杂频谱环境。