超低热容量热敏传感器及微流体检测方法

本发明公开一种超低热容量热敏传感器及微流体检测方法，涉及微流体检测技术领域，超低热容量热敏传感器包括：高导热基底、多个热敏电阻单元和上下互连电极；每个热敏电阻单元包括第一感温电阻薄膜、第二感温电阻薄膜和连接薄膜；第一感温电阻薄膜和第二感温电阻薄膜均为类水滴形状，且具有圆弧端和尖端；对于每个热敏电阻单元，第一感温电阻薄膜和第二感温电阻薄膜的圆弧端均开设有第一通孔；在高导热基底上开设有与第一通孔同轴的第二通孔；第一通孔和第二通孔共同形成垂直通道，上下互连电极嵌入垂直通道内；上下互连电极的上表面与热敏电阻单元的上表面在同一水平线上。本发明能够在微米甚至更小的空间内对微流体的动态参数进行高灵敏度检测。