一种蚀刻药水监控方法及装置

本发明公开了一种蚀刻药水监控方法及装置，涉及蚀刻药水监控技术领域，方法包括：S1、采集蚀刻药水的浓度、温度、酸碱度、电导率参数；S2、采集蚀刻环境的温度、湿度、光照参数；本发明通过同时采集蚀刻药水的浓度、温度、酸碱度、电导率多参数并建立关联模型分析，解决了传统监控参数单一的问题，实现了对蚀刻药水状态的全面判断，及时发现多参数综合作用导致的蚀刻异常，提升监控准确性与可靠性，保障蚀刻产品质量，通过实时采集环境参数并自动调整监控策略，解决了传统方法环境适应性差的问题，实现了监控方法与环境条件的适配，减少环境因素对监控结果及蚀刻工艺的干扰，提升监控稳定性，确保蚀刻过程在广泛环境条件下稳定进行。