用于对整合在半导体晶圆的电子受测装置进行测试的探针系统、探针卡、探针头及探针

一种探针系统、探针卡、探针头及探针被记载于此。该探针可包含一针头部，用以在测试时接触该电子受测装置上对应的一接触垫。该探针还可包含一针尾部，其相对于该针头部。该探针还可包含一针身部，位于该针头部与该针尾部之间，并沿一纵向发展轴延伸。该针身部可包含沿该纵向发展轴延伸的狭缝，并使该针身部具有由该狭缝区隔开的两个针臂。该针身部的一横向截面垂直于该纵向发展轴且具有一宽边以及一厚边。该两个针臂是沿该宽边排列。该两个针臂于该狭缝中各自具有凸块结构，且该两个凸块结构于该狭缝中彼此相对。