一种纳米压印用基板定位装置

本发明公开了一种纳米压印用基板定位装置属于纳米压印技术领域，包括定位机构，用以对基板中心点位置进行定位调节，吸附机构，用以对定位调节后的基板进行吸附定位，切换机构，用以对完成定位调节后的定位盘进行复位并切换吸盘二位置；本发明通过设置切换机构，相比传统机械手抓移动、放置的三步操作模式，通过定位机构与吸附机构的协同设计，实现定位与吸附的无缝衔接，减少中间搬运步骤，缩短单块基板的定位时间，适配批量生产的连续作业需求，消除位移风险消除搬运环节的精度损耗，同时避免了传统搬运中振动、惯性或路径误差导致的定位偏移。