引导模板的制备方法及制备系统

本发明提供一种引导模板的制备方法，是基于衍射曝光工艺的双重曝光方法，作为一个示例，其将花生状图案拆分成两个圆形图案分别进行曝光，即通过调整两次曝光时的晶圆台的位置，组合形成花生状图案；同时通过调整两次曝光间晶圆台移动的距离，可实现花生状图案的形状调控，最终辅助实现缩孔倍增的孔间距调整。