气体分配模块、衬底加工方法和衬底加工设备

公开了一种能够有效调节自由基组分的重组速率的气体分配模块、一种衬底加工方法和一种衬底加工设备。所述气体分配模块被配置为将气体供应至使用等离子体的衬底加工设备中的加工区，所述气体分配模块包括：上部电极；离子阻挡器，其设置在所述上部电极的下方，以形成血浆生成区；喷淋头，其设置在所述离子阻挡器的下方，以形成重组区；以及吹扫气体供应单元，其被配置为将吹扫气体供应至所述重组区。