一种等离子体源功率电路、控制方法及装置

本发明属于等离子体源技术领域，提供了一种等离子体源功率电路、控制方法及装置，功率电路包括准Z源变换器和全桥逆变电路，准Z源变换器连接直流电源，在直通状态和非直通状态之间切换；当准Z源变换器处于直通状态时，全桥逆变电路的负载侧被短接；当准Z源变换器处于非直通状态时，全桥逆变电路的逆变侧等效为恒定电流源，向负载侧提供直流链电压。本发明提供的功率电路，实现了在较宽占空比范围内大幅升压，保证了直流链电压与输出功率在等离子体负载快速变化时的稳定性，兼顾了器件电压应力以及对等离子体产生效率的影响，实现工艺过程中晶圆刻蚀深度均匀、薄膜厚度一致，提高芯片良率。