超深沟槽氧化铝的填充方法

本发明公开了一种超深沟槽氧化铝的填充方法，提供一晶圆，所述晶圆上具有需要填充氧化铝的超深沟槽；将所述晶圆送入反应腔室，通入TMA/N原料气体，在反应腔室内反应一段时间；进行留置步骤，原料气体在反应腔室内滞留；对反应腔室内进行清洗，去除反应腔室内部全部的气体；进行H0处置步骤，在反应腔室内部通入水蒸气进行反应，并滞留一段时间；进行清洗步骤，清除反应腔室内部的全部反应物；本发明所述的超深沟槽氧化铝的填充方法，采用TMA反应时间延长并进行留置一段时间的方式，提升超深沟槽内ALO的填充能力，改善ALO面内均匀性。