一种基于钛/铝/钛叠层接触电极的N型聚合物晶体管的制备方法

本发明涉及电子信息技术领域，具体涉及一种基于钛/铝/钛叠层接触电极的N型聚合物晶体管的制备方法。包括以下步骤：半导体溶液和栅介质溶液的配制，栅介质溶液由丙烯酸正丁酯溶解于溶剂配制。采用真空蒸镀的方式，分别使用钛、铝、钛金属颗粒，在衬底上叠层制得源漏电极。再旋涂半导体溶液经退火处理形成聚合物半导体层，再旋涂栅介质溶液经退火处理形成聚合物栅介质层。接着采用热蒸镀制得铝栅电极，得到目标晶体管。该方法能够使得施主‑受主（双极型）共聚物场效应晶体管由双极性输运变为单极性输运，降低了关态电流，提升N型聚合物晶体管性能，同时降低了成本，为实现互补型电路创造了条件。