一种精确定位的晶圆盒搬运设备

一种精确定位的晶圆盒搬运设备，其包括设备机架，放置工位，搬运机构。所述晶圆盒包括盒体，把手。所述设备机架包括工作台面，支架。每个所述放置工位均包括限位块，定位传感器，反射传感器，定位销。所述搬运机构包括固定板，水平移动机构，垂直移动机构，机械展臂，提取夹，定位器。所述提取夹包括夹爪主体，爪部，提取夹限位块。与现有技术相比，本发明通过设置所述放置工位，保证所述晶圆盒被准确地放置在所述限位块内，实现自动化精准放置所述晶圆盒。通过设置所述搬运机构，并在所述提取夹上设置所述提取夹限位块和定位器，使得所述提取夹在夹取所述晶圆盒时，位置准确并能够有效规避所述晶圆盒因为夹持不稳而掉落的风险。