一种晶圆高精度对准机构

本发明公开了一种晶圆高精度对准机构，涉及半导体制造及封装技术领域，包括机壳，以及一体式固定连接在机壳后侧上部的立箱，立箱前侧上部中心固定连接有悬臂，所述悬臂和机壳上壁之间设置有用于对晶圆进行光学探测的探测机构，机壳上壁开设有圆形的活动孔，活动孔的中心轴线处于悬臂的中轴面上，活动孔内设置有用于对晶圆进行位置调整的调准机构；本发明通过设置清洁组件，采用吹吸结合的闭环式设计，带来了显著的有益效果，其一，该结构通过正压吹气与负压抽吸的协同作用，形成了定向流动的气幕屏障，不仅能持续清除光学探头镜面上的落尘，更能将污染物从设备内部主动排出，从根本上杜绝了二次污染，极大提升了清洁的彻底性与可靠性。