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기록
芯片封装方法、装置、设备及存储介质
발명유효
10청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
王进华; 王志
IPC 분류
H10W 74/01 (2026.01)H10W 72/00 (2026.01)H10W 95/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)H10P 74/20 (2026.01)
本申请提供了一种芯片封装方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:利用压敏材料在第一载板上沉积一层形变感知层,得到第二载板;在第二载板上贴装裸装芯片并进行模塑,得到第一封装体,并对形变感知层进行电阻测量,根据测量结果确定第一封装体的形变数据;获取裸装芯片的焊盘设计参数,根据焊盘设计参数对第一封装体进行第一次激光加工,形成第一通孔;根据形变数据对第一通孔进行第二次激光加工,得到第二通孔,其中,第二通孔的下开口对应裸装芯片的焊盘的实际位置;在第二通孔内注入金属,形成垂直互连柱,并在第一封装体上形成与垂直互连柱电连接的重布线层,得到第二封装体;从第二封装体移除形变感知层,得到封装芯片。