超音速气体喷流中的激光维持等离子体产生

公开一种LSP宽带光源。所述光源可包含气体围阻结构。所述光源可包含多个喷流喷嘴，其中所述喷流喷嘴经配置以产生超音速气体喷流且引导所述超音速气体喷流在所述气体围阻结构内碰撞以在碰撞点处形成局部高压区域。所述光源可包含主激光泵源，其中所述主激光泵源经配置以将主泵束引导到形成在所述碰撞点处的局部高压区域。所述光源可包含脉冲辅助激光源，其中所述脉冲辅助激光源经配置以将脉冲辅助束引导到所述碰撞点处的所述局部高压区域。所述光源可包含经配置以收集从等离子体发射的宽带光的光收集器元件。