一种多通道半导体稀释剂梯度混合装置

本发明涉及半导体生产设备技术领域，公开了一种多通道半导体稀释剂梯度混合装置，包括混合组件，包括连接座，所述连接座内设置有进料口，所述连接座底部固定有混合管，所述混合管内开设有螺旋槽，所述螺旋槽一侧开设有混合槽，所述连接座底部固定有导向柱，所述导向柱表面开设有承接槽，所述导向柱表面固定有冲击环，所述导向柱底部设置有导向锥，所述混合管内开设有汇集槽。本发明有益效果为：1.混合精度与均匀性高，适配多梯度光刻需求：通过进料口配高精度流量泵实现多梯度精准配比，经混合管螺旋槽、混合槽及冲击环预混合，再通过射流口高速对冲与剪切管蜂窝板等深度混合，输出组分均一的多梯度混合胶液，适配不同光刻场景。