一种前开式晶圆盒开启前的洁净装置

本发明属于半导体技术领域，具体公开了一种前开式晶圆盒开启前的洁净装置，包括装载设备，装载设备的顶部设置有前开式晶圆盒，前开式晶圆盒的内部插接有盒盖，装载设备外壁固定滑动安装有安装件，安装件设置在盒盖的一侧，安装件的内部固定安装有电动推杆和滤芯；清洁组件，清洁组件用于对前开式晶圆盒和盒盖进行清洁和拆分，清洁组件与安装件、电动推杆和滤芯相连接。通过设置清洁组件，在前开式晶圆盒没有打开时，与盒盖和前开式晶圆盒形成密封空间，并对密封空间中的杂质进行洁净，减少前开式晶圆盒和盒盖外壁和附近杂质的数量，减少晶圆被污染的情况，确保晶圆的洁净度，提高晶圆加工后的良品率。