一种超声激光复合能场协同调控的微尺度锡焊装置及方法

本发明公开了一种超声激光复合能场协同调控的微尺度锡焊装置及方法，包括协同能量输出模块、多物理场监测模块、送丝模块、智能调控系统和运动平台，运动平台上设置有待焊工件；协同能量输出模块包括激光单元、超声振动单元和可调焦聚焦镜，超声振动单元包括超声发生器，多物理场监测模块包括红外测温仪、高速全息成像系统和声阻抗传感器；高速全息成像系统用于记录钎料熔池流动与IMC形核动态；声阻抗传感器监测超声能量传输效率；智能调控系统与多物理场监测模块电连接，智能调控系统内置基于LSTM神经网络的多物理场耦合预测模型。上述技术方案，结构设计合理、能场耦合效率高、材料适应性强、组织性能可控、缺陷率显著降低且实用性好。