基于矢量脉冲激光的雕刻加工方法和雕刻加工系统

本申请公开了一种基于矢量脉冲激光的雕刻加工方法和雕刻加工系统，属于激光雕刻技术领域，基于矢量脉冲激光的雕刻加工方法，包括：将线偏振飞秒脉冲激光分束为飞秒预脉冲激光与皮秒主脉冲激光；调节飞秒预脉冲激光与皮秒主脉冲激光之间的脉冲时间延迟；将延时调控后的飞秒预脉冲激光与皮秒主脉冲激光合束；将飞秒预脉冲激光转换为角向偏振的飞秒预脉冲光束，将皮秒主脉冲激光转换为径向偏振的皮秒主脉冲光束，形成角向偏振的飞秒预脉冲光束和径向偏振的皮秒主脉冲光束的双脉冲光束组合；利用双脉冲光束组合对待加工工件烧蚀雕刻。利用双脉冲的协同作用和精准的时间延迟，显著降低了热影响区的宽度与熔融损伤，实现了高精度、低损伤的雕刻加工。