一种四自由度调控的超表面器件激光加工系统及方法

本发明公开了一种四自由度调控的超表面器件激光加工系统及方法，解决了传统漏波超表面基于多层材料系统，其制造流程复杂的问题，具体包括用于出射加工激光的第一光源、设置在加工激光所在光路上以调制加工激光的空间光调制器，及第一反射镜、第一4f加工单元、第二4f加工单元、二维俯仰台和三维位移台；第一反射镜通过驱动器驱动以切入或切出经调制的加工激光所在光路；第一4f加工单元设置于微孔加工激光所在光路上；第二4f加工单元设置于波导加工激光所在光路上；二维俯仰台的位置与第一4f加工单元和第二4f加工单元作用端对应，用于承载并调整待加工器件的俯仰角度；三维位移台设置于二维俯仰台底部，用于调整二维俯仰台及待加工器件的位置。