透明材料的激光钻孔装置及激光钻孔方法

本发明公开一种透明材料的激光钻孔装置，包括第一脉冲激光器、第二脉冲激光器、第一转换器、第二转换器、第一准直镜、第二准直镜、合束镜以及聚焦物镜，第一脉冲激光器用于发射第一脉冲激光，第一脉冲激光为微秒脉冲激光或毫秒脉冲激光或纳秒脉冲激光，第二脉冲激光器用于发射第二脉冲激光，第二脉冲激光为皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光；第一转换器用于将入射的第一脉冲激光转换为第一贝塞尔脉冲光束；第二转换器用于将入射的第二脉冲激光转换为第二贝塞尔脉冲光束；第一脉冲激光器的发射时间点相对第二脉冲激光器的发射时间点提前第一预设时间。本发明可以通过激光一次性加工完成制孔，无需采用蚀刻工序，可大幅提升了制孔效率。