激光切割中切缝宽度的检测方法

本申请涉及激光加工技术领域，公开了激光切割中切缝宽度的检测方法，该方法包括以下步骤：控制所述相控阵换能器发射超声波束，并使其耦合至与激光束同轴的辅助气体气流中；利用所述辅助气体气流作为声波导，将超声波束引导至工件的切缝内部；所述相控阵换能器接收由切缝内壁反射的超声回波信号；所述控制与数据处理单元处理回波信号，并根据超声波的飞行时间确定切缝宽度。本发明进一步通过相控阵技术实现对超声波束的全局扫描与局部聚焦，并可将确定的切缝宽度与预设目标值进行比较，对激光切割工艺参数进行闭环控制。本发明能够实现对狭窄切缝宽度的高精度、非接触式在线测量，有效提升了激光切割的质量与一致性。