一种精度自反馈上料研磨检测线

本发明涉及半导体设备相关技术领域，具体是一种精度自反馈上料研磨检测线,所述研磨检测线依次设置有切割单元、缓存上料单元、移载搬运单元、研磨倒角单元及检测单元；所述缓存上料单元包括一号底座及设置在所述一号底座上的一号对位机构，设置在所述一号底座上的上料移载机器人对切割后的产品进行搬运后，所述一号对位机构能够对产品自动识别定位；还包括设置在所述一号底座上的上料缓冲机构及两组中转缓存台，本发明通过在切割单元与研磨倒角单元之间增加缓存上料单元，使得上游切割设备下料无需等待，前端切割设备下料不会因研磨设备节拍问题产生堆料，避免了因后端处理速度慢而造成的现场拥堵和产品溢出风险。