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Dossier
一种磨削砂轮及使用其的碳化硅电化学纳米磨削方法
InventionActive
10Claims · 2 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Applicant
广东工业大学; 广东大族半导体装备科技有限公司
Inventor
巫礼杰; 潘继生; 阎秋生; 韩子娟; 欧洋婷
IPC Classification
B24D 7/06 (2006.01)B24D 7/16 (2006.01)B24D 3/00 (2006.01)B24D 3/34 (2006.01)B24B 1/04 (2006.01)H10P 52/20 (2026.01)B82Y 30/00 (2011.01)C25F 3/30 (2006.01)
本发明公开了一种磨削砂轮及使用其的碳化硅电化学纳米磨削方法。磨削砂轮包括砂轮环、砂轮块和超声振动模块;砂轮块设置有多个,且多个砂轮块间隔设置于砂轮环的底部,超声振动模块安装于砂轮环的顶部;砂轮块包括芯体和包裹于芯体外部的外层;芯体具有孔洞结构;外层的原料包括复合磨粒、活性金属、碳纤维和导电结合剂,且复合磨粒、活性金属和碳纤维镶嵌于由导电结合剂固化而成的导电基体的内部。本方案提出的磨削砂轮,一方面可有效增强磨削砂轮的磨削力和磨削比,进而大幅提升将其用于电化学纳米磨削时的磨削效率,另一方面可大幅减少电化学纳米磨削时磨削砂轮的损耗与损伤,从而延长磨削砂轮的使用寿命。
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